Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Bülz, Daniel ; Forke, Roman ; Hiller, Karla ; Weidlich, Sebastian ; Hahn, Susann ; Shaporin, Alexey ; Wünsch, Dirk ; Konietzka, Stefan ; Motl, Tim ; Billep, Detlef ; Kuhn, Harald
Nordsuche - Performance Demonstration für Präzisions-MEMS-Gyroskope
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-073342-0 | |
| Quelle: | 15. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 2022 Nov 9-10, Chemnitz (Germany), 2022 |
