Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Stöckel, Chris ; Melzer, Marcel ; Meinel, Katja ; Tavakolibasti, Majid ; Forke, Roman ; Zimmermann, Sven ; Otto, Thomas ; Kuhn, Harald
Design and technology for uniform aluminum nitride piezoelectric micromachined ultrasonic transducers with radial array
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Allgemein | |
| Institut 3: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 4: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-6654-4092-9 ; 978-1-6654-3117-0 | |
| DOI: | doi:10.1109/SSI52265.2021.9467017 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=9467017 | |
| Quelle: | 2021 Smart Systems Integration (SSI), 2021 Apr 27-29, Grenoble (France). - IEEE, 2021. - 20758105 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Ultrasonic transducers , Semiconductor device measurement , Ultrasonic variables measurement , Simulation , Resonant frequency , Ultrasonic transducer arrays , Acoustics , piezoelectric micromachined ultrasonic transducer , PMUT , aluminum nitride , AlN |
