Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meinel, Katja ; Stöckel, Chris ; Melzer, Marcel ; Zimmermann, Sven ; Forke, Roman ; Hiller, Karla ; Otto, Thomas
Piezoelektrischer Mikrospiegel mit großem Scanwinkel, basierend auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-5090-0 , 978-3-8007-5129-7 (E-Book) | |
| Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress, 2019 Okt 28.-30., Berlin (Germany), S. 92-95. - Berlin/Offenbach : VDE-Verlag, 2019 |
