Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Sheremet, Evgeniya ; Fuchs, Florian ; Paul, Soumya D. ; Haas, Sven ; Vogel, Dietmar ; Rodriguez, Raul D. ; Zienert, Andreas ; Schuster, Jörg ; Reuter, Danny ; Gessner, Thomas ; Zahn, Dietrich R. T. ; Hietschold, Michael
Stress Analysis in Semiconductor Devices by Kelvin Probe Force Microscopy
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 4: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
| Dokumentart: | Poster | |
| ISBN/ISSN: | 0420-0195 | |
| Quelle: | DPG-Frühjahrstagung Sektion Kondensierte Materie (SKM), Regensburg (Germany), 2016 Mar 06-11; Poster; Abstract in: Verhandlungen der DPG, 2016 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | KPFM , microanalysis , microscopy |
