Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Waechtler, Thomas ; Ding, Shao-Feng ; Hofmann, Lutz ; Mothes, Robert ; Xie, Qi ; Oswald, Steffen ; Detavernier, Christophe ; Schulz, Stefan E. ; Qu, Xin-Ping ; Gessner, Thomas
ALD-grown seed layers for electrochemical copper deposition integrated with different diffusion barrier systems.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2010.07.004 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering . - 88 . 2011 , S. 684 - 689 |
