Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Shaporin, Alexey ; Forke, Roman ; Wecker, Julia ; Tank, Franz ; Seifert, Tom ; Hiller, Karla ; Schumann, Anne-Katrin ; Stoeckel, Chris ; Reuter, Danny
Optomechanical Inertial Sensors Based on Ring Resonators: Design Approaches and Technology
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-9300-2 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-9301-9 ; Electronic ISSN: 2833-8596 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2833-8553 | |
| DOI: | doi:10.1109/EuroSimE65125.2025.11006611 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/11006611 | |
| Quelle: | 2025 26th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), 2025 Apr 6-9, Utrecht (Netherlands). - IEEE, 2025 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | actuator , ANSYS , BDRIE-PIC , Lumerical , OptoMEMS , photonic , ring resonators , sensor | |
Bemerkung: |
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