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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Tank, Franz ; Wecker, Julia ; Stöckel, Chris ; Helke, Christian ; Schermer, Sebastian ; Shaporin, Alexej ; Hiller, Karla ; Reuter, Danny

Aluminum-nitride-based modular photonic integrated circuit technology and characterization platform (PIC-TCP)


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: ISSN: 0277-786X ; ISSN: 1996-756X (electronic) ; ISBN: 9781510670389 ; ISBN: 9781510670396 (electronic)
DOI: doi:10.1117/12.3000807
URL/URN: https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/12889/128890B/Aluminum-nitride-based-modular-photonic-integrated-circuit-technology-and-characterization/10.1117/12.3000807.full?webSyncID=a0cbad05-9329-ad88-3c9d-902bc9993ced&sessionGUID=268bead4-9a28-531a-b0d3-a6b03c97c009
Quelle: SPIE OPTO, 2024, San Francisco, California (United States), 2024 Jan 27 - Feb 1. - Bellingham, Washington 98227-0010 USA : SPIE digital Library, 2024. - Volume 12889, Integrated Optics: Devices, Materials, and Technologies XXVIII
Freie Schlagwörter (Deutsch): Ätzen , Aluminiumnitrid , Photonische integrierte Schaltkreise , Halbleiterwafer , Silizium , Wellenleiter , Ummantelung , Trockenes Ätzen , Laser-Resonatoren , Optiken auf Wafer-Ebene
Freie Schlagwörter (Englisch): Etching , Aluminum nitride , Photonic integrated circuits , Semiconducting wafers , Silicon , Waveguides , Cladding , Dry etching , Laser resonators , Wafer level optics

Bemerkung:

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