Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Baum, Mario* ; Meinecke, Christoph ; Blaudeck, Thomas ; Helke, Christian ; Reuter, Danny ; Hiller, Karla ; Hermann, Sascha ; Schulz, Stefan E. ; Kuhn, Harald
Bridging the gap: Perspectives of nanofabrication technologies for application-oriented research
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2166-2754 | |
| DOI: | doi:10.1116/6.0001299 | |
| URL/URN: | https://avs.scitation.org/doi/pdf/10.1116/6.0001299 | |
| Quelle: | In: Journal of Vacuum Science & Technology. - AVS. - 39. 2021, 6, 062805 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Network-based biocomputation , Sensor components with functionalized carbon nanotubes , FPI spectral sensors | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
