Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Selbmann, Franz ; Baum, Mario ; Hecker, Christine ; Roscher, Frank ; Enderlein, Tom ; Wiemer, Maik ; Joseph, Yvonne ; Otto, Thomas
Investigations on Parylene C for its Integrability into MEMS
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-95735-057-2 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration Conference 2017 (SSI), Cork (Ireland), 2017 Mar 08-09; Proceedings, pp 479-482. - Auerbach/V. : Verlag Wissenschaftliche Scripten, 2017 |
