Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schindler-Saefkow, Florian ; Rost, Florian ; Otto, Alexander ; Pantou, Remi ; Mrossko, Raul ; Wunderle, Bernhard ; Michel, Bernd ; Rzepka, Sven ; Keller, Juergen
Stress impact of moisture diffusion measured with the stress chip
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | ISSN: 0026-2714 | |
URL/URN: | doi:10.1016/j.microrel.2014.02.022 | |
Quelle: | In: Microelectronics Reliability. - 54. 2014, 6-7, S. 1243 - 1252 | |
Freie Schlagwörter (Deutsch): | Stressmesschip , Feuchtediffusion , Simulation vs Experiment | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Stress measurement chip , moisture diffusion , simulation vs experiment |