Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hermann, Sascha ; Böttger, Simon ; Bonitz, Jens ; Shaporin, Alexey ; Hartmann, Steffen ; Hartmann, Martin ; Tittmann-Otto, Jana ; Blaudeck, Thomas ; Kalbacova, Jana ; Rodriguez, Raul D. ; Zahn, Dietrich R. T. ; Wunderle, Bernhard ; Mehner, Jan ; Schulz, Stefan E. ; Geßner, Thomas
Integration and Functionalization of Carbon Nanotubes at the Wafer Level for Sensor Applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 3: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 4: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://mrsfall14.zerista.com/event/member/147861 | |
| Quelle: | MRS Fall Meeting 2014; 30.11.-5.12.2014; Boston, MA, USA |
