Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Forke, Roman ; Shaporin, Alexey ; Hahn, Susann ; Weidlich, Sebastian ; Küchler, Matthias ; Wünsch, Dirk ; Bülz, Daniel ; Hiller, Karla
On the Feasibility of the BDRIE-HS* Technology for a MEMS Gyroscope
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-8932-6 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-8933-3 ; Electronic ISSN: 2377-3480 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2377-3464 | |
| DOI: | doi:10.1109/inertial63280.2025.11037080 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/11037080 | |
| Quelle: | 2025 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), Lindau (Germany), 2025 May 10-13. - IEEE, 2025 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Winkelgeschwindigkeit , BDRIE , Hohlraum-SOI , Gyroskop , HAR , hohe Empfindlichkeit , MEMS , Sensor | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | angular rate , BDRIE , cavity-SOI , gyroscope , HAR , high sensitivity , MEMS , sensor |
