Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Bonitz, Jens* ; Helke, Christian ; Dittmar, Nils ; Schermer, Sebastian ; Haase, Micha ; Hofmann,Lutz ; Reuter, Danny
Scalable fabrication approach and fill factor optimization for single pixel microlens arrays
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN 2166-2754 ; Print ISSN 2166-2746 | |
| DOI: | doi:10.1116/6.0004036 | |
| URL/URN: | https://pubs.aip.org/avs/jvb/article/42/6/062203/3317703/Scalable-fabrication-approach-and-fill-factor | |
| Quelle: | In: Journal of Vacuum Science & Technology B. - AIP Publishing. - 42. 2024, 6, 062203. - Papers from the 67th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN 2024). | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Optische Effizienz , Plasmabearbeitung , Ätzen , Lichtempfindliche Materialien , I-Linien-Lithographie , Lichtstreuung , Mikrooptik , Optische Geräte , Linsenanordnung | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Optical efficiency , Plasma processing , Etching , Light sensitive materials , I-line lithography , Light scattering , Microoptics , Optical devices , Lens array |
