Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian ; Hiller, Karla ; Erben, Jens Wolfram ; Reuter, Danny ; Meinig, Marco ; Kurth, Steffen ; Nowak, Christoph ; Kleinjans, Herberth ; Otto, Thomas
Challenges of nanostructure-integration in Fabry-Pérot interferometers as alternative to Bragg reflectors: an example for Match 1:1-, eBeam-, and nanoimprint lithography
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0277-786X | |
| DOI: | doi:10.1117/12.2279603 | |
| Quelle: | 33rd European Mask and Lithography Conference, Dresden (Germany), 2017 Jun 26-27; Proceedings, Vol. 10446 (2017), pp 1-9 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | reflectors , nanoimprint litography , silicon , electron beam litography , interferometers , nanoxtructures , photoresist processing |
