Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Billep, Detlef ;
Hiller, Karla ;
Hahn, Susann ;
Forke, Roman ;
Köhler, Daniel ;
Stöckel, Chris ;
Konietzka, Stefan ;
Heinz, Steffen
Michel, Bernd (Hrsg.)
High Precision Vibratory MEMS Gyroscope
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-932434-78-5 | |
| Quelle: | In: Michel, Bernd (Hrsg.): Smart systems integration for micro- and nanotechnologies : honorary volume on the occasion of Thomas Gessner's 60th birthday. - Dresden : Goldenbogen, 2014, S. 501 - 508 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , Gyroskope |
