Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Waechtler, Thomas ; Auerswald, Ellen ; Hoebelt, Iris ; Nowack, Markus ; Noack, Elke ; Gollhardt, A. ; Vogel, Dietmar ; Michel, Bernd ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
FIB/SEM Analysis for Smart Systems Integration
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3423-8 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration (SSI 2012), Zürich (Switzerland), 2012 Mar 21-22, 2012 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | FIB Analysis, SEM Analysis |
