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Universitätsbibliographie | Universitätsbibliothek | TU Chemnitz

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Nr.	Titel	Autor	Jahr
1	[Ag{S2CNR(C2H4OH)}] as Single-Source Precursor for Ag2S – Synthesis, Decomposition Mechanism, and Deposition Studies	Mothes, Robert et al.	2015
2	A cobalt layer deposition study: Dicobaltatetrahedranes as convenient MOCVD precursor systems	Georgi, Colin et al.	2014
3	Carbon nanotube based via interconnects: Performance estimation based on the resistance of individual carbon nanotubes	Fiedler, Holger et al.	2014
4	Deposition of Copper Thin Films for ULSI Interconnects by ALD of Copper Oxide and Subsequent Reduction	Wächtler, Thomas et al.	2014
5	Magneto-optical Kerr-effect Studies on Copper Oxide Thin Films Prduced by Atomic Layer deposition on SiO2	Fronk, Michael et al.	2012
6	Magneto-Optical Kerr Studies of Copper Oxide Thin Films	Fronk, Michael et al.	2011
7	Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente	Wächtler, Thomas	2010
8	Ceramic or metal substrate having a copper coating made by at. layer deposition using fluorine-free copper complex	Gessner, Thomas et al.	2009
9	Moderne Aspekte in der Materialwissenschaft	Jakob, Alexander et al.	2009
10	Substrate Having a Coating Comprising Copper and Method for the Production thereof by means of Atomic Layer Deposition	Wächtler, Thomas et al.	2009
11	Spectroscopic Ellipsometry Study of Thin Diffusion Barriers of TaN and Ta for Cu Interconnects in Integrated Circuits	Rudra, Sukumar et al.	2008
12	nBu3P-Silber(I)-ß-Diketonate: Synthese, Gasphasenuntersuchungen und Verwendung als CVD-Precursoren	Schmidt, Heike et al.	2005

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