Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fiedler, Holger ; Toader, Marius ; Hermann, Sascha ; Rodriguez, Raul D. ; Sheremet, Evgeniya ; Rennau, Michael ; Schulze, Steffen ; Wächtler, Thomas ; Zahn, Dietrich R. T. ; Hietschold, Michael ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Carbon nanotube based via interconnects: Performance estimation based on the resistance of individual carbon nanotubes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
| Institut 3: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 4: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2013.07.007 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering. - 120. 2014, S. 210 - 215 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Carbon nanotube , Interconnect , Post CNT growth process , Electrical characterization , Atomic force microscopy , Raman spectroscopy |
