Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Rudra, Sukumar ; Himcinschi, Cameliu ; Wächtler, Thomas ; Friedrich, Marion ; Louis, S.J. ; Cobet, C. ; Esser, N. ; Gessner, Thomas ; Zahn, Dietrich R. T.
Spectroscopic Ellipsometry Study of Thin Diffusion Barriers of TaN and Ta for Cu Interconnects in Integrated Circuits
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0179-4159 | |
| Quelle: | In: BESSY Jahresbericht 2007. 2008, S. 131 - 133 |
