Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Georgi, Colin ; Hildebrandt, Alexander ; Wächtler, Thomas ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas ; Lang, Heinrich
A cobalt layer deposition study: Dicobaltatetrahedranes as convenient MOCVD precursor systems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Anorganische Chemie | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2050-7534 (online), 2050-7526 (print) | |
| URL/URN: | doi:10.1039/c4tc00288a | |
| Quelle: | In: Journal of Materials Chemistry C. - 2 . 2014, 23, S. 4676 - 4682 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Metal–Organic Chemical Vapour Deposition, MOCVD, | |
| OA-Lizenz | CC BY 3.0 |
