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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Georgi, Colin ; Hildebrandt, Alexander ; Wächtler, Thomas ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas ; Lang, Heinrich

A cobalt layer deposition study: Dicobaltatetrahedranes as convenient MOCVD precursor systems


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Professur Anorganische Chemie
Institut 2: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 3: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 2050-7534 (online), 2050-7526 (print)
URL/URN: doi:10.1039/c4tc00288a
Quelle: In: Journal of Materials Chemistry C. - 2 . 2014, 23, S. 4676 - 4682
Freie Schlagwörter (Englisch): Metal–Organic Chemical Vapour Deposition, MOCVD,
OA-Lizenz CC BY 3.0

 

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