Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Wächtler, Thomas ;
Mothes, Robert ;
Hofmann, Lutz ;
Schulze, Steffen ;
Oswald, Steffen ;
Schulz, Stefan E. ;
Lang, Heinrich ;
Hietschold, Michael ;
Gessner, Thomas
Michel, B. (Editor-in-Chief); Otto, T.; Schulz, S.E.; Winkler, T.
Deposition of Copper Thin Films for ULSI Interconnects by ALD of Copper Oxide and Subsequent Reduction
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Anorganische Chemie | |
| Institut 3: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
| Institut 4: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-932434-78-5 | |
| Quelle: | In: Michel, B. (Editor-in-Chief); Otto, T.; Schulz, S.E.; Winkler, T.: Smart Systems Integration for Micro- and Nanotechnologies. - Dresden : goldenbogen verlag, 2014, S. 207 - 215 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | ALD , atomic layer deposition |
