Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Selbmann, Franz ; Roscher, Frank ; Wiemer, Maik ; Kuhn, Harald ; Joseph, Yvonne
Advances in Parylene Adhesive Bonding for the Realization of Biocompatible Microsystems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN:978-0-9568086-9-1 ; Print on Demand(PoD) ISBN:978-1-6654-8736-8 | |
| DOI: | doi:10.23919/empc55870.2023.10418342 | |
| Quelle: | 24th European Microelectronics and Packaging Conference, EMPC 2023, 2023 Sep 11-14, Cambridge (United Kingdom). - IEEE, 2024 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Wafer bonding , Micromechanical devices , Temperature distribution , Semiconductor device reliability , Atmosphere , X-ray diffraction , Bonding |
