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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Haase, Micha ; Dittmar, Nils ; Kneidinger, Andrea ; Schuster, Patrick ; Bachhuber, Frederik ; Helke, Christian ; Reuter, Danny

Combining nano-scale imprint lithography and reactive ion etching to fabricate high-quality surface relief gratings


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: Proceedings of SPIE: 0277-786X ; Proceedings of SPIE, Progress in Biomedical Optics and Imaging: 1605-7422
DOI: doi:10.1117/12.3002254
URL/URN: https://doi.org/10.1117/12.3002254
Quelle: SPIE OPTO, 2024, San Francisco, California (United States), 128980L. - SPIE, Digital Library, 2024. - Proceedings Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics XVII, Volume 12898
Freie Schlagwörter (Deutsch): Ätzen , Nanoimprint-Lithographie , Reaktives Ionenätzen , Gläser , Photoresist-Verarbeitung
Freie Schlagwörter (Englisch): Etching , Nanoimprint lithography , Reactive ion etching , Glasses , Photoresist processing

Bemerkung:

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