Ergebnis der Datenbankabfrage
Nr. | Titel | Autor | Jahr |
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1 | Combining nano-scale imprint lithography and reactive ion etching to fabricate high-quality surface relief gratings | Haase, Micha et al. | 2024 |
2 | Fabrication of Nanoimprint-Lithography masters for optical nano gratings | Helke, Christian et al. | 2022 |
3 | Hochauflösende Projektions-Lithografie für die Herstellung von MEMS-Strukturen mit hohem Aspekt-Verhältnis und für Nano-Imprint-Lithografie Mastern für optische Gitter | Schermer, Sebastian et al. | 2022 |
Anzahl der Ergebnisseiten: | 1 |
Anzahl der Dokumente: | 3 |