Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schermer, Sebastian ; Helke, Christian ; Song, Danhe ; Haase, Micha ; Zorbach, Walter ; Kneidinger, Andrea ; Reuter, Danny ; Kuhn, Harald
Hochauflösende Projektions-Lithografie für die Herstellung von MEMS-Strukturen mit hohem Aspekt-Verhältnis und für Nano-Imprint-Lithografie Mastern für optische Gitter
High-resolution projection lithography for MEMS-applications with high aspect ratio and for optical gratings using nano imprint lithography
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-073342-0 | |
| Quelle: | 15. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 2022 Nov 9-10, Chemnitz (Germany), 2022 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Projection lithography , Thick resist , High aspect ratio , Nano imprint lithography | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
