Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Stoeckel, Chris* ; Shaporin, Alexey ; Schaller, Falk ; Melzer, Marcel ; Forke, Roman ; Zimmermann, Sven ; Kuhn, Harald
Passive, frequency-selective piezoelectric MEMS with wake-up electronics for ultra-low-power vibration sensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-5896-8 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/9899259 | |
| Quelle: | EASS 2022; 11th GMM-Symposium, 2022 July 05-06, Erfurt (Germany). - VDE , IEEE Xplore, 2022 | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
