Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian ; Haase, Micha ; Reuter, Danny ; Zorbach, Walter ; Kneidinger, Andrea ; Kuhn, Harald
Fabrication of Nanoimprint-Lithography masters for optical nano gratings
Herstellung von Nanoimprint-Lithografieschablonen für optische Nanogitter
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN:978-1-6654-8849-5 ; Print on Demand(PoD) ISBN:978-1-6654-8850-1 | |
| DOI: | doi:10.1109/SSI56489.2022.9901408 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=9901408 | |
| Quelle: | 2022 Smart Systems Integration (SSI), 2022 April 27-28, Grenoble (France). - IEEE, 2022. - 22114760 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Nanoimprint-Lithographie , SmartNILTM; , Nanostrukturen , Nano-Gitter , RIE , Siliziumverbindungen , Integrierte Optik , Teilchenstrahl-Optik , Herstellung von optischen Geräten , Lithographie , Systemintegration , Ionen | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Nanoimprint Lithography , SmartNILTM; , Nanostructures , Nano gratings , RIE , Silicon compounds , Integrated optics , Particle beam optics , Optical device fabrication , Lithography , System integration , Ions | |
Bemerkung: |
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