Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Selbmann, Franz ; Baum, Mario ; Meinecke, Christoph ; Wiemer, Maik ; Otto, Thomas ; Joseph, Yvonne
Parylene C Based Adhesive Bonding on 6" and 8" Wafer Level for the Realization of Highly Reliable and Fully Biocompatible Microsystems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| DOI: | doi:10.1149/ma2020-02221616mtgabs ;doi:10.1149/09804.0055ecst | |
| URL/URN: | https://iopscience.iop.org/article/10.1149/09804.0055ecst/pdf | |
| Quelle: | 2020 ECS - The Electrochemical Society, 2020, MA2020-02 1616 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Parylene Bonding Process , Characterization of the Bonding Interface |
