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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Helke, Christian ; Meinig, Marco ; Seifert, Mario ; Seiler, Jan ; Hiller, Karla ; Kurth, Steffen ; Martin, Jörg ; Gessner, Thomas

VIS Fabry-Pérot-Interferometer with (HL)4 PE-Si3N4/PE-SiO2 reflectors on freestanding LP-Si3N4 membranes for surface enhanced Raman spectroscopy


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: 0277-786X
URL/URN: http://dx.doi.org/10.1117/12.2208567
Quelle: SPIE Photonics West, San Francisco (USA), 2016 Feb 13-18; SPIE Proceedings, Vol. 9760 (2016), pp 1-11
Freie Schlagwörter (Englisch): interferometers , reflectors , surface enhanced Raman spectroscopy , silicon , glasses , chemical vapor deposition , dry etching , spectroscopy , surveillance systems , transmittance

 

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