Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hofmann, Lutz* ; Fischer, Tobias ; Werner, Thomas ; Selbmann, Franz ; Rennau, Michael ; Ecke, Ramona ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Study on TSV isolation liners for a Via Last approach with the use in 3D-WLP for MEMS
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0946-7076 (print) , 1432-1858 (online) | |
| URL/URN: | doi:10.1007/s00542-015-2797-8 | |
| Quelle: | In: Microsystem Technologies. - Springer Berlin Heidelberg. - 22. 2016, 7, S. 1665 - 1677 |
