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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Dhakal, Dileep ; Hu, Xiao ; Georgi, Colin ; Schuster, Jörg ; Ecke, Ramona ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas

Growth Monitoring by XPS and LEIS Investigations of Ultrathin Copper Films Deposited by Atomic Layer Deposition


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Konferenzabstract
URL/URN: http://www.semiconeuropa.org/node/2171
Quelle: Symposium of the ALD-Lab, SEMICON Europa, Dresden, 2015 Oct 06-08
Freie Schlagwörter (Englisch): atomic layer deposition , ALD , X-ray Photoelectron Spectroscopy

 

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