Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Vogel, Dietmar* ; Auerswald, Ellen ; Auersperg, Juergen ; Bayat, Parisa ; Rodriguez, Raul D. ; Zahn, Dietrich R. T. ; Rzepka, Sven ; Michel, Bernd
Stress Analyses of High Spatial Resolution on TSV and BEoL Structures
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0026-2714 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.microrel.2014.07.098 | |
| Quelle: | In: Microelectronics Reliability. - 54. 2014, 9–10, S. 1963 - 1968 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Sress , MicroRaman , TSV , BEoL |
