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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Bayat, Parisa ; Vogel, Dietmar ; Rodriguez, Raul D. ; Sheremet, Evgeniya ; Rzepka, Sven ; Zahn, Dietrich R. T. ; Michel, Bernd

Stress Analysis on Copper Through Silicon Vias (Cu-TSV) using Micro-Raman Spectroscopy


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Halbleiterphysik
Dokumentart: Konferenzabstract
ISBN/ISSN: 0420-0195
Quelle: DPG Frühjahrstagung Dresden, 30.03. - 04.04.2014

 

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