Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Brückner, John ;
Dehe, A. ;
Auerswald, Ellen ;
Dudek, Rainer ;
Rzepka, Sven ;
Michel, Bernd ;
Wunderle, Bernhard
IEEE
Statistical Strength Investigation of Poly-Silicon Membranes using Microscopic Loading Tests and Numerical Simulation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-2-35500-028-7 | |
| Quelle: | DTIP, Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS 01-04 April 2014, Cannes, France. - EDA Publishing/DTIP 2014. S. 332-337- IEEE Catalog Number: CFP14DTI-PRT | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Festigkeit Polysilizium membranen , MEMS Zuverlässigkeit , Si-Mikrofone | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Strength polysilicon membranes , MEMS reliability , Si-microphones |
