Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meszmer, Peter* ; Hiller, Karla ; Hartmann, Steffen ; Shaporin, Alexey ; May, Daniel ; Rodriguez, Raul D. ; Arnold, Jörg ; Schondelmaier, Gianina ; Mehner, Jan ; Zahn, Dietrich R. T. ; Wunderle, Bernhard
Numerical Characterization and Experimental Verification of an In-Plane MEMS-Actuator with Thin-Film Aluminum Heater
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 4: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0946-7076 (Print) 1432-1858 (Online) | |
| DOI: | doi:10.1007/s00542-014-2143-6 | |
| Quelle: | In: Microsystem Technologies. - 20. 2014, 6, S. 1041 - 1050 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , Thermal actuator , Numerical simulation , Reliability , BDRIE , Sensitivity analysis , Infrared tomography , Raman spectroscopy , Digital image correlation |
