Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Waechtler, Thomas ; Dhakal, Dileep ; Melzer, Marcel ; Sharma, Akhil ; Gummenscheimer, Andreas ; Ahner, Nicole ; Hermann, Sascha ; Fiedler, Holger ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
ALD of Transition Metals and Metal Oxides for Applications in Electronics and Sensor Devices
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://tu-dresden.de/die_tu_dresden/fakultaeten/fakultaet_elektrotechnik_und_informationstechnik/ihm/news/semicon2013/newsarticle_view?set_language=de | |
| Quelle: | Symposium of the ALD Lab Dresden @ SEMICON Europa 2013, Dresden (Germany), 2013 Oct 8, 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | ALD, |
