Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Shaporin, Alexey ; Hermann, Sascha ; Kaufmann, Christian ; Schulz, Stefan ; Geßner, Thomas ; Voigt, Sebastian ; Hartmann, Steffen ; Mehner, Jan ; Wunderle, Bernhard ; Bonitz, Jens
Wafer-level technology for piezoresistive electro-mechanical transducer based on Carbon Nanotubes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3490-01 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration, Amsterdam, The Netherlands, 13 – 14 March 2013. - Offenbach, 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Wafer-level technology , MEMS , CNT , Sensor | |
Bemerkung: |
CD-ROM |
