Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hofmann, Lutz ; Baum, Mario ; Gottfried, Knut ; Schulz, Stefan E. ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas
TSVs mit hohem Aspektverhältnis und Kupfer-Bonden für MEMS
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3555-6 | |
Quelle: | Mikrosystemtechnik-Kongress, Aachen, 2013 Oct 14-16; Proceedings, 2013 | |
Freie Schlagwörter (Deutsch): | TSVs , Kupfer-Bonden |