Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fiedler, Holger* ; Toader, Marius ; Hermann, Sascha ; Rodriguez, Raul D. ; Sheremet, Evgeniya ; Rennau, Michael ; Schulze, Steffen ; Waechtler, Thomas ; Hietschold, Michael ; Zahn, Dietrich R. T. ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Distinguishing between Individual Contributions to the Via Resistance in Carbon Nanotubes Based Interconnects
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
| Institut 3: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Print ISSN: 2162-8769 ; Online ISSN: 2162-8777 | |
| DOI: | doi:10.1149/2.027206jss | |
| Quelle: | In: ECS Journal of Solid State Science and Technology. - IOP. - 1.2012, 6, M47 - M51 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Multi-walled Carbon Nanotube , Interconnect systems , Conductive AFM |
