Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ding, Shao-Feng ;
Xie, Qi ;
Mueller, Steve ;
Waechtler, Thomas ;
Lu, Hai-Sheng ;
Schulz, Stefan E. ;
Detavernier, Christophe ;
Qu, Xin-Ping ;
Gessner, Thomas
ECS
The Inhibition of Enhanced Cu Oxidation on Ruthenium/Diffusion Barrier Layers for Cu Interconnects by Carbon Alloying into Ru
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0013-4651 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1149/2.041112jes | |
| Quelle: | In: Journal Electrochemical Society . - 158 . 2011 , 12 , H1228 - H1232 |
