Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Shaporin, Alexey* ; Stöckel, Chris ; Melzer, Marcel ; Schaller, Falk ; Forke, Roman ; Zimmermann, Sven ; Kuhn, Harald
Optimal design of piezoelectric MEMS for vibration monitoring system with nanoionics zero-energy memory elements
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-4597-1 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-4598-8 ; Electronic ISSN: 2833-8596 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2833-8553 | |
| DOI: | doi:10.1109/EuroSimE56861.2023.10100827 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/10100827 | |
| Quelle: | 2023 24th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), 2023 April 16-19, Graz (Austria), 1-5. - IEEE, 2023 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Schwingungen , Mikromechanische Geräte , Drahtlose Kommunikation , Drahtlose Sensornetzwerke , Messwertgeber , Schwingungsmessung , Sensorik | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Vibrations , Micromechanical devices , Wireless communication , Wireless sensor networks , Transducers , Vibration measurement , Sensor systems |
