Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Stöckel, Chris* ;
Meinel, Katja Sarah ;
Melzer, Marcel ;
Zukauskaite, Agne ;
Zimmermann, Sven ;
Forke, Roman ;
Hiller, Karla ;
Kuhn, Harald
Xie, Huikai
Static High Voltage Actuation of Piezoelectric AlN and AlScN Based Scanning Micromirrors
Statische Hochspannungsansteuerung von piezoelektrischen AlN- und AlScN-basierten Abtastmikrospiegeln
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2072-666X | |
| DOI: | doi:10.3390/mi13040625 | |
| URL/URN: | https://www.mdpi.com/2072-666X/13/4/625/htm | |
| Quelle: | In: Micromachines 2022, Special Issue: Piezoelectric Aluminium Scandium Nitride (AlScN) Thin Films: Material Development and Applications in Microdevices. - MDPI. - 13. 2022, 4, 625 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | AIN , AIScN , Aluminiumnitrid , Aluminium-Scandium-Nitrid , Mikrospiegel , Mikroscanner , piezoelektrisch | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | AlN , AlScN , aluminum nitride , aluminum scandium nitride , micromirror , microscanner , piezoelectric | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
