Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Frühauf, Swantje* ; Himcinschi, Cameliu ; Rennau, Michael ; Schulze, Knut ; Schulz, Stefan E. ; Friedrich, Marion ; Gessner, Thomas ; Zahn, Dietrich R. T. ; Le, Quoc Toan ; Caluwaerts, Rudy
Scaling Down Thickness of ULK Materials for 65nm Node and its Effect on Electrical Performance
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0167-9317 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.mee.2005.07.023 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering. - 82. 2005, 3-4, S. 405 - 410 |
