Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Vogel, Klaus ; Roscher, Frank ; Wiemer, Maik ; Zimmermann, Sven ; Otto, Thomas
Reactive bonding with oxide based reactive multilayers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-95735-082-4 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration Conference 2018 (SSI), 2018 Apr 11-12, Dresden (Germany), Proceedings. - Verlag Wissenschaftliche Scripten, 2018, pp 71-78 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Reactive Multilayer systems , Deposition of CuO/Al-oiRMS |
