Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian ; Meinig, Marco ; Seifert, Mario ; Seiler, Jan ; Hiller, Karla ; Kurth, Steffen ; Martin, Jörg ; Gessner, Thomas
VIS Fabry-Pérot-Interferometer with (HL)4 PE-Si3N4/PE-SiO2 reflectors on freestanding LP-Si3N4 membranes for surface enhanced Raman spectroscopy
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0277-786X | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1117/12.2208567 | |
| Quelle: | SPIE Photonics West, San Francisco (USA), 2016 Feb 13-18; SPIE Proceedings, Vol. 9760 (2016), pp 1-11 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | interferometers , reflectors , surface enhanced Raman spectroscopy , silicon , glasses , chemical vapor deposition , dry etching , spectroscopy , surveillance systems , transmittance |
