Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dhakal, Dileep ; Hu, Xiao ; Georgi, Colin ; Schuster, Jörg ; Ecke, Ramona ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Growth Monitoring by XPS and LEIS Investigations of Ultrathin Copper Films Deposited by Atomic Layer Deposition
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.semiconeuropa.org/node/2171 | |
| Quelle: | Symposium of the ALD-Lab, SEMICON Europa, Dresden, 2015 Oct 06-08 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | atomic layer deposition , ALD , X-ray Photoelectron Spectroscopy |
