Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Förster, Anja ; Köhler, Nicole ; Zimmermann, Sven ; Fischer, Tobias ; Wagner, Christian ; Schuster, Jörg ; Gemming, Sibylle ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Experimental and Theoretical Investigations on an in situ k-restore Process with Plasma Enhanced Fragmentation for Damaged ULK Materials
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| ISBN/ISSN: | 0420-0195 | |
| URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/year/2015/conference/berlin/part/ds/session/36/contribution/88 | |
| Quelle: | DPG-Frühjahrstagung Sektion Kondensierte Materie (SKM), Berlin (Germany), 2015 Mar 15 - Mar 20; Poster; Abstract in: Verhandlungen der DPG (VI) 50, 3/2015 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | ultra-low-k (ULK) materials |
