Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hermann, Sascha ; Shaporin, Alexey ; Bonitz, Jens ; Hartmann, Steffen ; Kalbacova, Jana ; Rodriguez, Raul D. ; Zahn, Dietrich R. T. ; Mehner, Jan ; Wunderle, Bernhard ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Carbon nanotubes for piezoresistive electro-mechanical transducers incorporating a wafer-level technology
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 3: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 4: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 5: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| ISBN/ISSN: | 0420-0195 | |
| Quelle: | DPG-Frühjahrstagung der Sektion Kondensierte Materie (SKM), Dresden (Germany), 2014 Mar 30-Apr 04; in: Verhandlungen der DPG, 2014 |
