Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hiller, Karla ;
Meinig, Marco ;
Kurth, Steffen ;
Seifert, Mario ;
Helke, Christian ;
Neumann, Norbert ;
Ebermann, Martin
Michel, B. (Editor-in-Chief); Otto, T.; Schulz, S.E.; Winkler, T.
Technology Approaches for Tuneable IR Fabry-Perot Filters applied in Gas Sensing Microspectrometers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-932434-78-5 | |
| Quelle: | In: Michel, B. (Editor-in-Chief); Otto, T.; Schulz, S.E.; Winkler, T.: Smart Systems Integration for Micro- and Nanotechnologies. - Dresden : goldenbogen verlag, 2014, S. 327 - 334 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | spectrometer , infrared spectroscopy , Fabry-Pérot |
