Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schondelmaier, Gianina ; Hartmann, Steffen ; May, Daniel ; Shaporin, Alexey ; Voigt, Sebastian ; Rodriguez, Raul D. ; Gordan, Ovidiu-Dorin ; Zahn, Dietrich R. T. ; Mehner, Jan ; Hiller, Karla ; Wunderle, Bernhard
Piezoresistive force sensor and thermal actuators usage as applications to nanosystems manipulation: Design, simulations, technology and experiments
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 2: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 3: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 4: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-4673-6139-2 ; Print ISBN: 978-1-4673-6138-5 ; CD: 978-1-4673-6137-8 | |
| DOI: | doi:10.1109/EuroSimE.2013.6529967 | |
| Quelle: | 14th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), 14-17 April 2013, Wroclaw, Poland, pp 1 - 6 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | force sensor , Piezoresistive , thermal actuator , mems , nems , Design , technology |
